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FAQ

よくいただくご質問

製品仕様や導入の進め方について、これまで多くいただいたご質問と回答をまとめています。

デモ機で実際のワークを評価してもらえますか。
はい。デモ機による実機評価を承っています。観察対象や加工対象の情報(材質・寸法・必要な分解能や加工径など)をお知らせいただければ、評価の可否と進め方をご案内します。守秘義務契約(NDA)の締結にも対応します。
既製品の仕様では要求を満たせません。特注はできますか。
対応可能です。光学系(対物レンズのNA・倍率・作動距離)、カメラと照明、明視野/暗視野、ステージのサイズと軸構成、制御ソフトの機能まで、構成をワークに合わせて設計します。ステージ仕様はワークサイズや設置環境に応じたカスタム対応が可能です。
SEMとの使い分けを相談したいのですが。
0.3µm以上の観察シーンであれば、多くの場合ORES-6000で代替できます。前処理・真空排気・電子ビームが不要で、非破壊のまま短い準備時間で観察できます。順番待ちが起きているSEMを本当に必要な解析だけに使えるようになるため、SEMの回転率向上にも寄与します。現在のSEM運用の内容をお聞かせいただければ、代替可能な範囲と残る範囲を整理してご提案します。
導電性のない試料(樹脂・絶縁物など)も観察できますか。
はい。ORES-6000は光の反射を見る光学系のため、観察対象に導電性は必要ありません。SEMでは成膜などの前処理が必要になる絶縁物や樹脂も、そのまま観察できます。観察対象の材質をお知らせいただければ、適した光学系の構成(明視野/暗視野、照明、カメラ)をご提案します。
観察の様子を動画で記録できますか。
できます(ご要望に応じて対応するオプション機能です)。静止画が基本のSEMと異なり、ORES-6000は動画のまま記録できます。ステージを動かしながらの探索や、経時変化の追跡といった用途にお使いいただけます。
半導体以外の分野でも使えますか。
ORES-6000は真空排気が不要で試料を変質させないため、SEMでは扱いにくい試料の観察にも向いています。真空に置けない生体試料も観察できるため、バイオ・ライフサイエンス領域でもお使いいただけます。想定される観察対象をお知らせいただければ、実現可能性を検討してご回答します。
まず観察機を導入し、あとでレーザー加工を追加できますか。
可能です。ORES-6000にレーザーユニットを追加することで、映像を見ながらレーザー加工を行えるORES-5000へアップグレードできます。ただし搭載には構成上の条件があるため、将来の追加をご検討の場合は初期構成の段階でご相談ください。
海外拠点への納入は可能ですか。
個別にご相談ください。輸出管理上の確認事項があるため、納入先と用途をお知らせいただいたうえで回答いたします。

製品・技術についてのご相談

ORES-5000・ORES-6000の仕様のご相談、デモ機による実機評価、カスタム構成のご検討など、お気軽にお問い合わせください。