Opto Graphic Controls Co., Ltd.

サブミクロンをSEMなしで

当社は、微細レーザー露光・加工装置 「ORES-5000」および超微細デジタル光学顕微鏡 「ORES-6000」に関連する特許について、独占的な実施許諾権を保有しています。

ORES-5000: 加工径が回折限界を下回る微細レーザー加工技術（特許第7511960号）を用い、サブミクロン級（最小照射径0.8µm〜）のレーザーによって、1µm級の微細穴加工を実現します。
ORES-6000: 回折限界を超える微細観察技術（現在、特許申請中）を用い、光学顕微鏡のまま、かつ高倍率化することなく、従来SEMでしか観察できなかった1µm以下の微細構造の観察を実現します。

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Technology & Products

回折限界の制約を超える技術と、
それを実装したORESシリーズ

当社では、ORESシリーズ（Optical fine REsolution lithography System）を取り扱っています。

超微小径のレーザー源、高解像度の光学システム、高精度ステージを組み合わせることで、超精密な加工・露光・観察を実現します。

これまでSEM（電子顕微鏡）に頼らざるを得なかった1µm以下の加工と観察を、光学系のまま・非破壊・前処理なしで行えることが、この技術の価値です。

3つの構成要素はいずれも固定ではなく、対物レンズのNA・倍率・作動距離、カメラと照明、制御ソフトの機能まで、ご希望の仕様に合わせて設計します。

保有技術

光学系である以上、レーザーの照射径も顕微鏡の分解能も、光の回折限界に制約されます。いずれも波長と対物レンズの開口数によって下限が決まるため、波長が長いほど照射径は大きくなり、一般的な光学顕微鏡の分解能も100〜200nm程度で頭打ちとなります。

このような制約を超え、当社のORESシリーズでは、最小照射径0.8µm〜のレーザーにより、回折限界以下の微細加工を実現します。さらに観察においても、回折限界を超える微細観察技術により、画像分解能30nm以下を実現します。

TECHNOLOGY 01

超微小径のレーザー源

最小照射径0.8µm〜。266／355／532／1064nmの4波長から素材の吸収特性に応じて選択でき、1µm級の微細穴加工を実証しています。観察光学系と同軸で照射するため、モニタ上で見ている一点をそのまま加工できます。当社が独占的実施許諾権を保有する特許技術です。

特許第7511960号

TECHNOLOGY 02

高解像度の光学システム

画像分解能30nm以下、総合倍率12,000倍。作動距離10mm以上のため、ウエハ断面のような段差のある試料も観察できます。光の反射を見る光学系のため、SEMのような真空排気も導電処理も不要で、樹脂や絶縁物、さらに真空に置けない生体試料も観察の対象になります。カラーでの観察に対応し、動画での記録もご要望に応じて対応できます（オプション）。

現在、特許申請中

TECHNOLOGY 03

高精度ステージ

X・Y・Z・θの4軸構成。XY最小分解能16nm、Z最小分解能1nm、θ角度最小分解能0.000016°、XY軸繰返し精度±0.08µm。狙った一点へ確実に移動でき、加工後に同じ視野へ戻して結果を確認できます。SEMのように真空チャンバーの寸法に縛られないため、ワークサイズや設置環境に応じてステージ構成を設計できます。

特許・研究開発を確認する

製品

PRODUCT 01

ORES-5000

微細レーザー露光・加工装置

観察している一点にサブミクロン級のレーザーを照射することで、1µm級の微細穴加工ができます。

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PRODUCT 02

ORES-6000

超微細デジタル光学顕微鏡

従来SEMでしか観察できなかったサブミクロン領域を、非破壊で観察できます。

詳しい仕様を確認する

Engineering Chain

当社は新しい価値を創造する
システムインテグレーター

当社は製品企画と設計改善を担い、開発・設計、試作・評価、製造準備、製造・検査は出資3社（オオクマ電子、サンワハイテック、テラシステム）をはじめとする協力会社に委託します。

なお、当社が企画し、出資3社への委託を通じて開発された製品・技術・知的財産は、すべて当社に帰属します。そのため、これらを用いた製品のご相談・ご発注は、すべて当社が窓口となります。また、出資3社の技術・知的財産を組み合わせた製品の開発をご希望される場合も、当社へご相談ください。

STEP 01
製品企画
当社
STEP 02
開発・設計
出資3社
協力会社
STEP 03
試作・評価
出資3社
協力会社
STEP 04
製造準備
出資3社
協力会社
STEP 05
製造・検査
出資3社
協力会社
STEP 06
設計改善
当社

設計改善の成果を、次の製品企画へ反映します

From the concept stage

お困りごとは、企画の段階からご相談ください

「この工程を光学で見えるようにしたい」「この構造を非破壊で確認したい」「この工程を画像処理で解決したい」「アラインメントの問題を革新的な制御技術で解決したい」といった、仕様が固まる前の段階からご相談いただけます。当社が製品企画を担い、開発・設計から製造までを協力会社につなぐため、既製品の選定にとどまらず、必要な仕様を組み立てるところからご一緒できます。

光学、画像処理、制御に関するお困りごとであれば、 ORESシリーズの範囲にとらわれずお聞きします。現在の製品仕様では実現できない観察・加工であっても、必要とされる工程が明確であれば開発テーマとして検討します。

企画段階から相談する